注入新油 准备爱德华真空泵油，旋下加油塞，注入约2升油，保证油位坐落油位镜的“MIN”与“MAX”符号之间，旋上附有密封圈的加油塞而且拧紧。 爱德华真空泵维修公司排气过滤器的更换 真空泵运行时的查看运用排气过滤器压力表，物排气过滤器压力表，排气过滤器的过滤才能由驱动电机电流的变化来测定。假如排气过滤器压力表指示的压力比一般低，或驱动电机耗费的电流比一般少，原因是有一个排气过滤器损坏，请更换排气过滤器。
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超高真空校准 超高真空计是超高真空全压力测量的重要工具，为了得到准确的测量结果，必 须对真空计进行校准以保证在超高真空条件下应用的可靠性。此外，对于冷阴极电 离规的非线性，尽管生产厂家作了线性处理，但如果不进行校准仍会带来很大误 差。热阴极电离规在线性测量范围内要达到测量精度也需要进行校准。校准是在专 门的超高/或极高真空校准系统中进行的。
爱德华真空泵维修公司目前采用的校准系统有：分子束法校准系 统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。 图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/或超高真空校准装置，包括：极 高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体 引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到 极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：
4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)
