氦质谱检漏仪
设备是产生、改善并维持真空的装置，包括真空应用设备及真空获得设备。真空系统设备的真空系统是核心，主要由真空获得、真空测量、真空腔体（或容器）以及控制辅助等部件（如真空阀门、管道等）。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效
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氦质谱检漏仪
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，
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氦质谱检漏仪
工业用氦：氦含量≥99%，≤43℃.
纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。
高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。
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