高纯气体必须满足2 个条件:1、主体成分含量必须大于某一定值。2、各杂质组分含量必须小于某一定值。 电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求， 可列为高纯气体。理论上， 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。事实上， 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。既使象二氧化碳这类产品， 可以通过规定的方法， 直接测定得到“纯度值”，***气标准气体厂家， 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说， 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分，氦气标准气体， 计算求得气体纯度(理论纯度) 的方法， 同样难以实现。
高纯氢气（PH2）氢气（H2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。***气（Ar）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氦气（He）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L不锈钢管）阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB， Valve Manifold Box)，而后再进程入制机台的使用点(POU， Point of Use)，更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup于进入机台腔体之前，南京标准气体，会有***的气体控制盘(GB，氮气标准气体， Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP， Valve Manifold Panel)进行供应。
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