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真空箱检漏仪真空箱检漏仪
?背压法——测总漏率?
电子元器件进行.qi密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。
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真空检漏
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超声波法
该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。
超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。
该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。
检漏时将检漏器的灵敏度调到da，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到da。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。
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真空箱检漏仪真空箱检漏仪
真空泵
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真空箱检漏仪真空箱检漏仪
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。s=2.303（v/t）lg(p1/p2)其中：s为真空泵抽气速率(l/s)v为真空室容积(l)t为达到要求真空度所需时间(s)p1为初始容器内气压p2为抽气后容器内气压影响因素它是决议产品的大小，抽气量请求愈高，产品体积相对愈大，所需配用的电机功率亦会愈高。它是决议产品采用何种构造，真空度是有表压及绝dui压力这两种读数。绝dui压力表示读数是绝dui值，即读数愈靠近‘0﹨"，真空度愈高。但反观表压，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所请求的绝dui压力（极限真空）是靠近‘0﹨"，真空箱检漏仪，那么只要真空泵才能够满足这个需求。
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