退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的***生产厂家，公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验，拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力，产品用户遍布***各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验，具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
用途：用于不同规格铜直管（棒）、钢管、铝管或盘园在控制气氛下连续光亮退火。特点：工件连续通过预热、加热、保温、缓冷、冷却，不受长度限制。传动采用托辊式同步传动，变频调速，平稳可靠。通保护气氛和强力的热气氛循环，温度均匀，内外表面十分光亮。冷却区设计独特，保证工件均匀冷却。处理的产品内外表面光亮，产品质量高，生产率高。加热方式：电加热或燃气加热。生产线组成：前辊道料台、前换气室、前预热区、加热炉、缓冷区、冷却区（含过渡区及强风冷区）、后换气室（含水冷区）后辊道料系统、计算机控制系统、电气控制系统、保护气氛装置。
真空退火炉技术参数
3.1、炉膛工作区尺寸（室一）： 7000×900×830mm
炉膛工作区尺寸（室二）： 14000×900×830mm
3.2、炉膛额定温度： 950℃
3.3、炉温均匀度： ≤±10℃
3.4、控温精度: ±1℃
3.5、加热功率 : 280Kw/520Kw（0～120%无级可调）
3.6、额定电压： AC380V 50Hz 3N
3.7、控温区数： 520/6区;280/3区
3.8、空炉升温时间： ≤2.5h（炉膛升温和降温可调控）
3.9、满载升温速度： 程序设定无级可控
3.10、炉体表面温升: ≤40℃
退火炉的结构特点
结构特点： 加热室采用不锈钢骨架，隔热屏为多层石墨毡，使用寿命长，易维护。采用石墨管加热器，易安装维护，故障率低。气冷系统有大功率高速电机、大风量高压叶轮、蜗壳及导流板、铜管铜串片换热器和导流装置等组成，可实现气流有换热器-风机-导流装置-工件-换热器的高速循环，以使工件得到快速均匀的冷却。加热室也可以采用全金属结构。电控系统采用PLC与可编程温度控制器的方式，实现全自动、半自动、手动三种控制方式，操作灵活。
