




苏州千卓工程, 目前公司主营业务有:机电工程、电气工程、环保工程、水处理工程、管道工程等项目的设计、施工、维护。设备销售方面主要有:净水、纯水、超纯水、中水回用、污水处理、高浓度工业废水、循环零排放、废气处理、智能自控成套、动力机电成套、制冷、通风等方面。如果悬浮液温度较高,由于蒸气压关系,真空过滤较困难,采用加压过滤比较适合。
超纯水技术在半导体行业的应用
1超纯水制造工艺半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部分,分别为预处理部分、RO部分、电去离子部分和抛光混床部分。在有些半导体厂中,也有用“阴床十阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定,这里主要探讨常用的电去离子工艺。一、超纯水设备中为什么会有气泡超纯水设备制取超纯水用的源水,无论是以自来水为源水,还是地下水为源水,或者以纯水为源水。
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般gt;5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定安全地运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。反渗透膜滤芯是纯水机净水系统的核心部件,只有使用了反渗透膜,才能称为纯水机。
反渗透部分在半导体行业中,反渗透部分多采用双级反渗透工艺,以确保后续工艺的安全性。通过双级反渗透,可去除水中超过99%的悬浮物、胶体,98%以上的溶解盐,大部分的微生物、TOC和部分CO2。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺,同时将双级反渗透拆分成两个***的部分,这样就更加有效地保证了系统的连续运行,即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时,也不会造成整个工厂大而积的停水,确保了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加SBS,MDC加药装置,保证了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置,可提高二级反渗透系统的脱盐率。0001微米(μm),只有水分子才能通过,而其溶质不能通过反渗透膜。