洁净室检测之静电检测与验收
防静电工程中门窗及其它装修工程验收除应符合***有关标准和相关行业标准规定外,尚应符合下列规定:
A.门窗密封性能和接地连接应全数检查。
B.门窗和各类装修的饰面应抽检测定表面电阻值。抽检数量应不小于三个自然间,每自然间内所有门窗和各类装修饰面全数检查。
C.易1燃、易1爆和洁净环境的门窗及其它装修工程,除应符合本规程的规定外,其施工和验收还应符合特种行业的***标准和规范规定。
洁净室检测之静电检测与验收
B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求:
a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料,其表面电阻率应为1.0×105~1.0×1012Ω/□;或体积电阻率为1.0×104~1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料,其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm;或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验,半衰期应小于0.5s。
b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造,其地面对地泄放电阻值应为1.0×105~1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω;二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。
洁净车间应用的行业:
半导体 : 半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础,由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。 随着洁净车间在各个行业的普及,快速替代了普通的生产车间,洁净车间与普通车间相比,具有哪些特点和优势呢?洁净车间在空气过滤方式、送风量、气压、人员与物品进出管理等方面都有着严格处理方案。