氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时，还会直接影响真空工艺条件，造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致，所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统，各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。
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