真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
轴承: 1、滑动轴承 （1）轴承与轴承压盖的过盈量为0.02～0.04mm，下轴承衬与轴承座接触均匀，接触面积应大60%以上。 （2）更换轴承时，轴颈与下轴承接触角为60～900密封，接触面积应均匀，接触点每平方厘米不少于2～3点。 （3）轴承合金层与轴承衬应结合牢固，合金层表面不得有气孔、夹渣、剥落等缺陷。 （4）承顶部间隙应符合下表的规定。 （5）轴承侧间隙在水平中分面上的数据为顶间隙的一半。
填料密封 （1）封油环与轴套的直径间隙一般为1.00～1.50mm。 （2）封油环与填料箱的直径间隙为0.15～0.20mm。 （3）填料压盖与轴套的直径间隙为0.75～1.00mm。 （4）填料压盖与填表料箱直径间隙为0.10～0.30mm。 （5）填料底轴套的直径间隙为0.70～1.00mm。 （6）减压环与轴套的直径间隙为0.50 ～1.20mm。 （7）填料环的外径应小于填料函孔径0.30～0.50mm，内径大于轴径0.10～0.20mm，切口角度一与轴向成45°。 （8）安装时，相邻两道貌岸然填表料的切口至少应错开90°。
