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2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；
4．静电放电的发光可导致照像肢片等感光***；
5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；
6．静电放电引起的***的灾害是成为可燃物的火源井引起，例如国外文献统计，在***室使用性的86000次中，的36次，其中由静电引起的达21次；
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
乱流式
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
4 以轻钢龙骨作为技术检查空间时，在其空间内敷设维修通道至排出口；
5 洁净房间及人员洁净室的外墙窗户，要有良好的气密性，有防止漏气及结露的功能；
6 洁净房间的门窗形状为简单、平滑、不易留存尘土、容易清扫的结构；不要设门槛；并且为防止因潮气产生***或门窗变形，洁净区域内的门窗不能使用木制品；
7 洁净房间的窗要向空气洁净度级别高的房间方向打开，并为便于一般设备的安装、修理及交换，窗户应有足够的大小；
8 洁净房间安装门窗的内墙面应平整，尽可能不要窗台。如有窗台，为防止存留尘土，且清扫方便，要尽可能做成斜面；
