物理净化方式① 机械过滤：HEPA网，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。② 吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。
因为实验室在使用过程中难免会经常漏滴化学物品，一般的化学物品都具有极强的腐蚀性，这是传统的水泥地面不能承受的，会出现起壳、脱落等现象；另外，实验室中存在很多******，普通的地板砖又不具有比较强的防滑性能，容易导致***；其次，实验室有时候也会有叉车等工具进出，这对地面的强度也就有了比较高的要求。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。综上所述，对于实验室地坪的选择，是不可能同普通家具和办公室一样的。
可以认为,当今微污染控制领域诸多科技成果的出现无不与集成电路生产的飞速发展有关。②踢脚略缩进墙面2～3mm，***室踢脚与地面水泥活时成一整体，踢脚与地面交界处的阴角做成R≥40mm的圆角。集成电路工厂的前工序(硅片加工)对微环境控制为严格。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。我国对防微振的研究及工程实践始于20世纪60年代初期,经历了几代人的努力,不仅建立和完善了防微振理论,开发了防微振用系列化隔振产品。
