氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是借鉴了国外的***检漏技术以及多年质谱生产经验设计而成。氦质谱检漏仪的关键部件均采用进口部件，性能稳定可靠。氦质谱检漏仪不但灵敏度高，并且操作方便，能够进行双灯丝自动切换、系统自动调零、自动校准及自动量程切换，目前已经达到水平。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视氦质谱检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。
氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰
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