氦质谱检漏仪
不仅耗能耗时，还会直接影响真空工艺条件，造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致，所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。对于由各个组件组成的真空系统，各个组件本身存在的一些工艺瑕疵都会直接影响到系统的固有漏率
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氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪性能特点
· 采用进口的多口分子泵
· 操作简单，通常只需进行两键操作（检漏和放气）
· 自动校准
· 自动调零
· 自动量程切换
· 双灯丝自动切换
· 铱丝离子源，使用寿命更长
用原装进口检漏仪专用的分子泵。
有效降低了检漏仪本身的噪音，提高了检漏仪的灵敏度。
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氦质谱检漏仪
机器的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用
可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa?m3/s
可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa?m3/s
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