洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。
对装饰材料应严格按***有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合***有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
洁净车间净化工程中送风量要比普通车间大很多，
一般情况下，普通车间8-10次/H换气，单向流洁净车间400-600次/H换气；洁净车间内必须时刻保持正压状态，防止外界污染物进入洁净区，而普通车间并不注重这些。 隔热保温，保湿性能好，普通车间只要能符合产品生产加工的要求就可以，在结构设计上没有特别严格的要求。板材用料方面，也没有洁净车间的严谨。洁净车间搭建的用料十分讲究，既要有很好的隔热保温功能，也可以保持湿度。
洁净室检测之静电检测与验收
B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求：
a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□；或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料，其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm；或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验，半衰期应小于0.5s。
b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造，其地面对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω；二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。
