无尘烘箱的用途:
和呈无尘烘箱主要用于半导体制造中硅片、铌酸锂、 玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的
高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度。无尘工业烤
箱适用于电子液晶显示、LCD、 CMOS、IS、 医l药、实验室等生产及科研部门。无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易l燃易
曝物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
真空干燥箱操作方法：
1、 需干燥处理的物品放入真空干燥箱内，将箱门关上，并关闭放气阀，开启真空阀，接通真空泵电源开始抽气，使箱内真空度达到-0.1M Pa时，关闭真空阀，再关闭真空泵电源。
2、 把真空干燥箱电源开关拨至“开”处，选择所需的设定温度，烘箱，箱内温度开始上升，当箱内温度接近设定温度时，加热指示灯忽亮忽熄，反复多次，一般120min以内可进入恒温状态。
注意事项：
1.真空箱外壳必须有效接地，以保证使用安全。
2.真空箱应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。
3.真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理，不得放易然、易曝、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。
4.真空泵不能长时期工作，因此当真空度达到干燥物品要求时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。
5.干燥的物品如潮湿，则在真空箱与真空泵之间要加入过滤器，防止潮湿气体进入真空泵，造成真空泵故障。
6.干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网，以防干燥物吸入而损坏真空泵（或电磁阀）。
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