氦质谱检漏仪
因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层
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氦质谱检漏仪
按检漏仪上的“开始”按键，检漏仪开始对气瓶夹层进行抽空。达到检测条件后，用喷枪将分别在气瓶内胆和外胆喷吹氦气，如产品存在泄漏，氦气会进入到夹层内部，进而被抽入检漏仪内，而被检测到，超过设定报警值，检漏仪会显示漏率并发出声光报警，提示不合格。
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氦质谱检漏仪
能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术
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