真空泵维修原理和机械泵的参数
机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛，本文主要介绍)四种类型。
机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积，转速为n。
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真空泵维修方法制备有机功能薄膜的技术
莫尔定律讲的是硅片上的元件密度,这是描述大规模集成电路进行信息加工能力的参量,按照IBM公司1994年发表的特殊报告讲到的关于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。
信息存储密度106bit／cm2，可存下一篇30页;108bit／cm2,能存300页的书10本;1010bit／cm2,存1000本书;1012bit／cm2,存10万本书,对于一块3.5＂磁盘可存入500万本书是可能的。这几乎是我国目前省级图书馆的全部藏书。由这个估算可见存储密度的提高,其芯片的功能是极其惊人的。这只是量变的推算,应该考虑到量变到质变产生的功能飞跃。
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真空泵维修薄膜加工中的应用
微电子器件是现代高速计算机和个人计算机的基础,当今在某些发达***,微电子和计算机工业已经超过了能源、材料、交通和钢铁工业而占国民经济产值的前沿。在电子工业和计算机工业的发展中,真空泵维修科学与技术做出了重要贡献。
微电子器件的发展,将推动人类社会更快地进步。微电子器件的发展趋势是大规模集成电路,集成度越来越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越来越小。其规律是莫尔（Moore）定律所描述的,每18个月同样大小芯片上的元件数增加一倍。过去20年是这样,电子学家预言,未来的15年仍是这样。
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