氦质谱检漏仪
因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层
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氦质谱检漏仪
在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。
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氦质谱检漏仪
工业用氦：氦含量≥99%，≤43℃.
纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。
高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。
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