氦质谱检漏仪逆扩散原理
将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。
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氦质谱检漏仪
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，
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