影像测量仪常见故障分为升降传动故障、工作台故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。影像测量仪升降传动故障。常见的有升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙大、微调不传动、投影屏框松动等。影像测量仪工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。
影像测量仪解决故障时，要要找出故障原因，再对症下药。可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、新上油、加润滑油、更换光杆、调节或更换光杆支架等方式来解决。影像测量仪的投影屏故障。旋转有声响时，可清理端面上的杂质（如锈渍），换新***轴承等。旋转时磨擦力大，可松紧螺丝，或换磨擦转。旋转时不均匀时，可换新度盘座、磨擦轮、磨擦轮轴等。
影像测量仪是一种光、 电、机体化的精密测量仪器，需要有良好的维护与***，以保持仪器这好的使用状态。这样才可以保持仪器原有的精度和延长仪器的使用寿命，仪器应放在清洁干燥的室内(20C土5C，湿度低于60%) ,避免光学零件表面汗损、金属零件生锈，尘埃杂物落入运动导轨，影像仪器性能。仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，再罩上防尘罩。影像测量仪的传动机构及运动导轨、应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。
影像测量仪数据区计数反常，可能是RS232或光栅尺信号线联接不好导致的不计数，拔下RS232信号线和光栅尺信号线，从头插好。或者是体系设置不正确导致不计数，按说明书的办法正确的设置各数轴的线性补偿值；所以咱们在用影像测量仪丈量视点的时分，尽量将视点两头的线收集长些，假如屏幕显现规模太小，能够移动工作台，在视点所在直线的起点方位附件采一点，然后在终点方位采一点，这样所测视点差错将会大大减小。影像测量仪替换法，假设知道仪器出毛病的器材，或者不确定是否是某部件出问题，能够经过替换相同的新器材来看毛病是否消除。
