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高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。

高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，10 -6(ppm级)已经不能达到要求，需要达到10-9(ppb级)，甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：***气如果只是调节压力，高纯氮气，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么***气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。

任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时，首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走，10-1Pa时炉内气体基本抽尽)，然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体，以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例，除了在它表面吸附的气体之外，高纯氮气批发，在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。

因此真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。

标准气体这个名词相信很多人都是初次听说，当然，在小编没有接触到这个行业以前也是和大多数人一样的，对此一无所知。但是，没关系!所谓“闻道有先后，术业有专攻”嘛，今天小编就带大家来了解下，至于标准气体这个名词的含义呢，小编在这里就不多说了，大家可以直接去百度百科查看阅读，今天小编主要跟大家讲解下标准气体对涡街流量计传感器的准确度的调试过程中的主要一些作用和应用。

按照标准气体行业标准，标准气体涡街流量计传感器的准确度一般都在0.5级~1.5级的水平上，是无法作为0.5级标准传感器来使用的，当只使用标准气体流量传感器检定曲线上的一个有限段时。标准流量计标定的准确度可以得到一定的提高。同样用以检定被检流量计的准确度也可以得到提高。在这一有限测量范围内仪表系数K的相对误差将会小于仪表系数的全量程的误差。

试验结果表明若量程比为2:1或3:1，在定点标定时能满足要求，因此，使用该传感器标准，建立气体流量装置是可行的。