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超精密加工机的需求急剧增加，在工业界的应用包括非球面光学镜片、Fresnel镜片、超精密模具、磁盘驱动器磁头、磁盘基板加工、半导体晶片切割等。在这一时期，超精密加工设备的相关技术，例如控制器、激光干涉仪、空气轴承精密主轴、空气轴承导轨、油承导轨、摩擦驱动进给轴也逐渐成熟。
机械零件加工的精度主要体现在尺寸精度，几何形状精度以及相互位置精度这几个方面，在几何形状精度中包含了圆度，直线度和平面度等等，相互位置精度包括平行度、垂直度以及同轴度等。
1、尺寸精度：主要有试切法、调整法、定尺寸法以及自动控制法等。
2、几何形状精度：主要有轨迹法、成型法以及展成法等。
3、相互位置精度：主要有直接安装法、找正安装法以及夹具安装法等。
精密零件加工要注意的事项有哪些？
1、机械工作前检查运动部分是否加注了润滑油，然后启动并检查离合器、制动器是否正常，并将机床空运转1-3分钟，机械有故障时严禁操作。
2、工作时保持正确的姿势，要有充足的精神应付工作，如发现身体不适就要马上离开工作岗位，并向***反映。操作时必须思想集中，严禁闲谈，相互配合，操作者切勿在烦躁、疲倦的状态下操作，以免发生事故，确保操作安全。所有员工在进入工作岗位前，检查自己服饰是否符合工作要求。不准穿拖鞋、高跟鞋及影响安全的服装，留长头发的要戴安全帽。
