




轮廓仪适用范围
轮廓仪 广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。
电机行业:电机轴的直线度,电机壳体、电机转子的各项沟形参数等。
轮廓仪 的选型
轮廓仪 的选型主要根据客户被测部位的X方向长度和Z方向的高度值来进行选择。
需要注意的是,由于轮廓仪 为接触测量,测针针尖必须要缓慢稳定的划过被测部位才有效,则测针顺利通过则是前提。
另外,测针的长度是根据量程而规定好的,所以如果需要测量内孔时,则需要考虑测针是否能够伸进去。选择的机型Z轴量程一定要大于客户被测部位1高点和1低点的差值。
轮廓仪助力半导体产业大发展
硅晶圆的粗糙度检测
在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。基本上讲,不可以简单判断一个被测物体是否可以被轮廓扫描仪传感器测量。
轮廓仪操作规范
操作过程
1、安装待测量工件。
2、在操作盘上点击“”图标指示灯亮,探针自动落下。指示灯由 OR下降到-OR。
3、清零:使用操作盘上的方向操作杆,轻轻向下拨,探针缓慢下降,直至探针与工件表面相接触;停止,再使Z轴继续下降,至Z轴水平仪表上-0处指示灯亮,即停止,清零完成。
4、找工件1高点或1低点(测量弧面时)。
5、点击右边工具栏中“”(measure start),设备开始测量,测量完成后,自动抬起探针。
6、编辑图形和计算

轮廓仪如何标准的进行粗糙度检测校正呢?
选择探针为“通常使用的探针”→ 选择校正方法为“利用标准片校正”→ 校正条件的标准值设定为标准片上的值3.21um,校正倍率选±128um → 将标准片放置在水平调整台上 → 执行校正测量条件的设定:单击“编辑”,选择“基本条件”,测量速度选0.300mm/s,移动返回速度6.000mm/s,测量长度5λ,单击滤波器,勾选“使λs有效”,“比”设300,波长设0.8mm,单击去除形状,选择1小二乘直线,确定并执行测量。3、清零:使用操作盘上的方向操作杆,轻轻向下拨,探针缓慢下降,直至探针与工件表面相接触。
