各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，******气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
不同气体配管要求
腐蚀性能较强的气体时，须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。
大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊时***不发生变化。（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。含碳过高的材料在焊接时，受焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，***输送气体的纯度、干燥度和洁净度，导致我们的各项努力全部失去意义。
气路系统百科知识
特点
实验室集中供气系统涉及气体管路的设计、材质选择、工程安装和验收等方面的工作，是一项***性较强的工作，由于实验室通常配备许多精密大型仪器设备，如果工程材质不合格、施工工艺不精密，使用过程中可能会产生泄漏，引入杂质降低高纯气体纯度，直接导致仪器设备无法正常使用，因此必须由气体管道安装的***公司来进行设计和施工。气体管道安装要求实验室的气体供应不同于一般工厂的要求，首先表现在仪器设备对气体的纯度要求较高，一般工作气体要求达到99。
实验室安全管理制度
一、实验室是进行实践和科研工作的重要基地。为做好实验室安全工作，确保实验工作的顺利开展，制订本管理制度。
二、为确保全体实验人员自身安全和公司财产不受损失，实验室实验员、参加实验的其他人员，必须牢固树立“安全第i一”的思想，严格遵守实验室管理制度和实验操作流程，防止任何安全事故的发生。
三、实验室的钥匙应有专人保管，不得私自配备或转借他人。双休日、节假日及夜间进行实验，应经实验室负责人同意方可进行。
四、严禁用湿手去开启电闸和电器开关，凡漏电仪器不要使用，以免触电。
五、室内不准私拉电线，如工作需要，事先上报有关部门批准实验室内的一切电源要有专人负责管理，定期进行安全检查，发现隐患及时处理，。
六、实验室内存放的一切易i燃、易i爆物品，都要单独隔离，与电源保持一定距离。
七、实验室必须按要求配备消防器材。实验室工作人员应熟
练掌握消防器材的使用方法，并将本实验室的消防器材放在干燥、通风、明显和便于使用的位置，周围不许堆放杂物，严禁消防器材挪做他用。
八、实验室内不准举办一切与实验无关的活动。保持实验室环境整洁，走道畅通，设备器材摆放整齐，严禁占用走廊堆放杂物。
九、实验仪器设备必须有专人管理，使用实验仪器设备必须实验室实验员同意。
未经实验室管理人员许可，任何人不许随意动用实验室的仪器设备。
凡使用贵重、大型精密仪器及电器设备，使用人员必须遵守操作规章，要坚守岗位，发现问题及时处理，
因不听指导或违反操作规程导致仪器设备损坏，要追究当事人责任，并按有关规定给以必要的处罚。
十、实验结束后，应关闭所使用的仪器设备，切断电源、气源和水源，清理和存档、保存实验用品。
十一、禁止使用实验室的器皿盛装食物，也不要用烧杯等当茶具使用。
参加实验的人员离开实验室后，实验室实验员对实验
室内的仪器设备、电（气、水）源等情况进行检查，确认无问题后，关好实验室门、窗。
