蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少?
蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等片置于坩埚前方。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。电气设备包括测量真空和膜层厚度及控制台等。因此,排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环,也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。为了提高抽气速率,可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。蒸发式真空镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径一般为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢制作,有水冷却装置。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。
真空镀膜机酸洗应该注意什么
酸洗设备应在通风设备上进行,并戴上橡胶手套。把零件到清洗槽内的酸或碱,要悄悄的,真空镀膜机无磕碰和飞溅。此外,常用的酸洗槽盆应加盖。后,完成了这项作业,应切断水。
安全标准:真空体系,真空体系,高温真空泵油加体系的运用,真空镀膜机稍有不小心燃烧的风险,所以在作业的过程中,有必要严厉操作过程中装置和操作标准,要稳重,热泵经历人是风险的,旋转部件也许损伤人的风险,所以要注意在生产过程中不行挨近的增压泵和扩散泵,滑阀泵与罗茨泵的***前护罩有必要是完好的,人不行近。真空镀膜机的设备卷绕体系也许是风险的损伤在操作过程中的人,真空镀膜机所以在后掩蔽和清洗辊速度不太快,不超越30米/分钟,速度不超越10米/分钟的影片。
真空镀膜机实验专用设备玻璃制扩散泵真空系统
真空泵按工作条件的不同分为两类:能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机械泵),用来产生预备真空,需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(玻璃扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
扩散泵的液体油有多种,目前广泛使用的是3号扩散泵油(20℃时饱和汽压为1.3×10-6Pa)沸点375℃和275号硅油(20℃时饱和汽压为1.3×10-8Pa)沸点430℃。扩散泵开始工作之前,必须先开动机械泵抽气,达到预备真空时,便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热,约25~35min的时间,便可观察到,扩散泵油开始沸腾。当硅油加热至沸腾时430℃,便产生大量油蒸汽,蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出。