1、真空吸污
用类似有手握式的真空吸污管来操作。用刷子直接接触管道内壁以清除污物。这种方法需要风管有较大的检修孔使操作的人员能够尽可能够得到但这种方法可能漏掉一局部尘土和污物，因为风管不能形成完全的负压条件。
2、动力洗刷
用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于***保温资料的外表。
排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降,然后做水洗中和处理，再由风机排大气。应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以使生产正常并维持室内环境。
气管连接端口应紧固，法兰不得错位安装，插入式连接应牢固牢固。对于连接的管道，检查管道是否平直和调整是关键的一步。安装后风道布置美观，支架及风道不得倾斜。管道、管件的可拆卸接口和调节机构应安装在便于操作的位置，不得安装在墙壁或地板上;与风管连接的气阀部件应单独支撑和固定。防火挡板的易熔片应安装在迎风一侧;防火门与墙体之间的距离不得超过200mm。
