







风速风量换气次数
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
为了获得可重复的读数,记录各测点风速的时间平均值。
换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得。
洁净室(区)的温度和湿度,应符合下列规定:
生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65 %;
(4)不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间以及洁净室(区)与非洁净室(区)之间的空气静压差不应小于5Pa,洁净室(区)与室外大气的静压差不应小于10Pa;
(5)洁净室(区)应根据生产要求提供照度,并应符合下列规定:
1)主要工作室一般照明的照度值宜为300lx;
2) 辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx;
3)对照度有特殊要求的生产部位可设置局部照明;
(6)非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)。
关于定向气流的速度没有提出具体数字,但正如前面已提到的,依据常规和ISO的规定,可以取0.2m/s.也就是对于有常开洞口相通的房间,要求其间的压差达标是不现实的,只要保证洞口的速度就可以了。此时通过洞口的流量视洞口的大小也可能较大。
如果有洞的房间同时有门和走廊相通,但该房间主要要防止邻室经过洞口的污染,而走廊的污染属于次要的,则只要保持洞口速度就可以了,不要再要求该房间与走廊之间一定要有达标的压差。