制备
1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。用途：可用于有色金属的冶炼和铸造工艺，也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。
将硫、二氯化LIU、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属氧化物为催化剂于300℃下用空气氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化硫热解。
纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
红外光谱技术（IAC510）
红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它***物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。在电弧作用下，SF6分解为氟原子和硫原子，设备触头则蒸发出金属Cu和W蒸汽，六氟化硫微水超标就会导致水分和这些蒸汽生成金属氟化物腐蚀元部件表面。
六氟化硫气体是一种安全***的气体，不会对皮肤和眼睛造成伤害。但是说SF6气体无害的前提是纯品六氟化硫，如果是高压开关中已经使用过很多次的SF6气体，当然就不安全了。高温、水分、高压以及电弧作用，会导致SF6气体分解出许多***物质，此外高温的SF6气体电离产生的电弧本身也非常***。六氟化硫防护是保护工作人员的必备措施，不光是定期检查SF6钢瓶、高压SF6设备还是穿着六氟化硫防护服都属于六氟化硫防护的内容。加有六氟化硫的电流遮断器额定电压高，且不易i燃烧，另外，六氟化硫还用于各种加su器、超高压蓄电器、同轴电缆和微波传输的绝缘介质。
