种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
同时，由于洁净室相对密闭，不利于自然排烟。应在厂房内设置事故排烟系统，在疏散走道上设置正压送风的机械排烟系统，确保烟气能迅速排出室内，不至于进入到疏散走道，从而保证人员能及时安全地撤离起火地点。在洁净室装修中，我们必须注意装修材料的燃烧性能，尽量减少使用一些高分子合成材料，以避免火灾发生时产生大量烟气，不利于人员逃生。另外，要对电气线路的穿管做严格要求，在有条件的地方要尽量使用钢管，保证电气线路不成为火灾蔓延的途径。净化车间设计方案的优化再优化，更多的是考虑在洁净工程成本核算的控制上，如何有效的控制洁净工程的成本呢。
顶板
板材采用三明治式结构：两面为彩钢板，烤漆，钢板厚度是0.5毫米；常用净化车间门的洞口宽度，双扇内净化车间门多在1800mm以下，双扇外净化车间门多在2100mm以下。中间为高密度的绝缘的隔热夹芯，该型号顶板可供选择的夹芯材料有岩棉,纸蜂窝,铝蜂窝等材质,为了增强顶板强度,可在彩钢板内加入石膏或玻镁板,人员可以在上面行走，进行各种维护工作。承重在100公斤以上。
板与板之间是内置式铝龙骨或PVC方管连接的，形成一连续自支承结构的墙。两块板之间的接缝处用硅胶密封处理。顶板用M-8螺纹钢筋和支架固定在建筑顶上。
