超纯水设备的工艺流程为： 1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)。 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)。 3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)。 4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)。 5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)。
反渗透装置常见故障
1、在初始设计时选择高压泵的扬程偏低，在温度或进水水质发生变化时引起产水量达不到设计要求；
2、膜元件被氧化引起水通量增加及产水水质下降；
3、盐水密封圈倒置引起实际回收率过高而产生结垢及水质下降现象；
4、盐水密封圈破损引起实际回收率过高而产生结垢即水质下降现象；
5、O型圈破损引起产水水质下降；
6、新旧膜元件、不同类型的膜元件的混合使用引起系统性能下降；
7、压力容器浓水止推环与浓水出口重叠或部分重叠引起回收率过高而产生结垢现象；
8、压力容器长度偏大引起浓水泄漏到产水侧使产水水质下降。
1、水分活度影响
水分活度是指水能够被微生物运用的百分比，如果水分活度值增大到一定规模，就会导致损失本身存在的维护作用，所以维持水分活度值对药剂的使用效果影响比较大。
2、温度影响
在湿度相同的情况下，温度上升会影响微生物细胞原生质膜的通透性，这样能够使产品的扩散速度加速，以较短的时间到达作用部位，电厂水处理药剂，发挥作用，并且据试验表明，当温度上升10度左右时，工业废水处理药剂，其杀菌功率会扩大2倍。
3、湿度影响
反渗透阻垢剂在应用的时候会遭到湿度的影响，循环水水处理药剂，相对湿度对其的功率影响较大，自贡水处理药剂，所以，需要在特定环境中调节湿度，让其到达较佳规模，提高产品的使用效果。
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