高纯氯化1氢气体用途：99.999%电子级氯化1氢气体主要用于大规模集成电路生产中，单晶硅片气相抛光，外延基座腐蚀。工业制干燥的氯化1氢是将浓盐酸滴入浓硫1酸中，经过浓硫1酸缓冲罐缓冲就可以了。由于氯化1钠和浓硫1酸产生的混合物坚硬，所以这不是好的办法。当管内气流为不连续流动时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。高新技术产品的生产和销售，能够测量微量浓度。由于采用撞击式粉尘捕集器，以及采样净化系统能够吸引较多的试样气体，所以能够测量微量气体浓度。
高纯气体充装的抽空操作
一、开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵
二、缓慢开启抽空总阀，不要让泵油外溢
三、真空表指示值lt;-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀，不要抽空管路过油
七、关闭真空泵，抽空结束。
为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮－氢混合气为多。高纯气体发展：高纯度气体是工业气体，近年来，随着国1防工业，科研，自动化技术，精密的检测，特别是微电子技术的发展，并开发出新的范围。国外多选用液态氢和液态氮汽化法取得氮氢混合气， 也有选用液氮分解法取得氮氢混合气的。 用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其***和成本均较高． 国外，因为生产的***化程度高，使用单位多选用这种办法取得混合气。
