六氟化硫制备：
以长约300mm直径25mm的镍管为反应器，将盛有硫粉的镍舟置于其中，反应管与一石英阱连接，石英阱以液态氧冷却。装置的末端与一装有新脱水的KF的铁制干燥管相连，以隔离空气中的湿气。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求，半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口，这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。硫在氟气流中燃烧，生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的KOH热溶液（不用NaOH）洗涤除去其中的杂质（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用P4O10干燥产物气体，并在室温下通过活性炭除去S2F10。
六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，常压下升华点温度为-63.8℃。经验表明，工作人员在即使是含有非常微量的分解物的环境中，也会感到刺鼻或不舒服的气味，对鼻、口及眼等有明显的刺激。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
使SO2在过量的F2中燃烧可生成SF6。反应温度约650℃，产物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要杂质是SO2F2。纯化时将其通过装有水和热的10%KOH溶液的洗涤瓶，后用P4O10干燥。
1、主要用于高压开关中灭弧，在大容量变压器和高压电缆中作为绝缘材料使用。在工作开始后的一定时间内即应进行检测，并具体情况于中途再进行检侧。可在核粒子jia速器及避雷器X射线设备中作为气体的绝缘材料，利用SF6化学稳定性好，对设备不腐蚀，在冷冻工业中可作为冷冻剂（操作温度在－45～0℃之间），SF6对α-粒子有高度的停止能力，故在放i射化学中也有应用；也可作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
2、用作电子设备和雷达波导的气体绝缘体。
