由这种空穴作用而产生的液体流动和数以万计的高压真空气泡瞬间时产生的能量，不断地冲击被清洗物表面，使表面及缝隙中的污垢迅速剥落。但在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。
排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲区。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各个部位都达到的清洗效果。对于构造复杂、盲孔较深的工件，通过两次以上的抽真空和排气过程，也可以将空气全部排出。所以在真空状态下，清洗效果要比常压下更好。
利用真空突沸效应，提高干燥速度。由于碳氢清洗剂的沸点都在140℃以上，在常温常压下彻底挥发一般需要一小时左右。这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求。而用加热烘干的方法又容易产生火险，这也是碳氢清洗剂在中国未得到广泛应用的主要原因之一。真空清洗干燥机一般是将蒸汽清洗与真空干燥在一个槽中进行，在对工件进行蒸汽清洗的同时使工件温度升高，然后使干燥槽迅速进入更高的真空状态，工件表面的清洗液会突然沸腾（真空突沸效应）而迅速挥发干净。
作为工业清洗机，它的体型可大可小，如果消费者的厂房空间大、产量多，这台碳氢清设备的设计师就会根据他们的需求设计得很大，它每天能帮消费者的工厂洗很多零配件，并帮助他们提高工作效率、增加收益。现如今，开厂做超声波碳氢清洗机设备的技术人员越来越多，这意味着制造业的PMI指数也在逐渐上升（当然，碳氢清洗设备厂家数目作为制造业中的一员，其影响对于那些较为的、产值较高的只砸业来说，微乎甚微，但不容忽视）。
