LEYBOLD OPTICS CCS 系列(50 至 160 对/8 小时)视客户要求而定,可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层(减反射层、防晒或镜面层以及滤光片)。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控,这些尤为该平台的亮点。而真空泵泵腔内的润滑是靠内部真空对外产生吸力,将真空泵油吸到泵腔里面,达到润滑目的。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案,适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计,实现可持续发展的解决方案
电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此,客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统
LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架,自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片,使其适用于广泛的应用。
经过验证的设计,可进行轻松维护所有 LEYBOLD OPTICS CCS 组件可轻松触及,因此维护简单。作为所有布勒莱宝光学设备的标准,每台设备都可通过远程软件工具访问,轻松地实现离站分析和检修活动。布勒莱宝光学的业务触及两大类业务领域:光学镀膜设备以及大面积镀膜设备。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况,并在需要时可共享信息。
LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗,这又可提供增加设备运行时间的优势。
真空泵维修***需要如何做好下面给大家做出交流:
1.按先外后内一部一步拆解(拆解同时注意部件位置与磨损程度)
2.清洗真空泵油箱泵头泵体及部件
3.检查缸体泵头有没有磨损痕迹
4.检查端盖磨损轴承位有没有变化
5.油路检查疏通情况
6.按顺序装回真空泵
7.不加油旋转转子细听转子与缸体有没有摩擦声
8.加油测机
9.经过4-8小时测试检查真空度变化与泵体温度(如果一切正常就算ok,如有不正常需重新检查)
多级罗茨干泵在混合压缩过程中, 压缩气体产生热量。随着工作周期的重复, 产生的热量积聚起来, 并逐渐传递给转子和泵体内壁, 造成转子和泵体内壁的温度升高。由于温度的升高, 转子和泵腔将会产生一定的热变形, 会影响间隙通道的尺寸。关闭高真空蝶阀,关闭机械增压泵,关闭真空泵,按急停按钮,控制电源关闭,关主电源断路器。而间隙是干泵设计重要的参数之一, 由于存在气体逆向返流现象, 间隙的选取会严重影响干泵的极限真空度、压缩比、容积效率、发热卡死等指标。
对泵体内的传热过程及转子、泵腔的温度升高和受热变形进行分析, 一方面为泄漏量的准确计算提供依据, 另一方面, 也是涉及间隙尺寸、考察发热后转子与泵体内壁是否刮碰的一个重要依据。