氦质谱检漏仪
全自动液晶触摸彩屏显示，实现了智能自动化，操作方便、简单可靠。
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主要技术指标
1. 可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s
3. 启动时间：≤3min
4. 响应时间：≤1.0s
5. 检漏口的压力：1000Pa
6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A
7. 机械泵抽速：4L/S
8. 工作环境：5-40℃
9. 相对湿度：≤80%
10. 外形尺寸：600(W)×550(D)×1000(H)
11. 重量：65kg
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视氦质谱检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。
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氦质谱检漏仪
工业用氦：氦含量≥99%，≤43℃.
纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。
高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。
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