罗茨泵
真空设备的一种.罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。所谓真空,一种是物理学上的“真空”,是指没有或者不计气体分子和原子存在的物理空间,仅存在各种能量粒子的场空间。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
北京世博优成真空技术有限公司将国际真空行业交流作为主营业务之一,中日韩、中美、中欧真空行业交流会每年一次,中外联办真空技术培训班每年若干。世博真空愿与您共同开启中国真空美好未来。
罗茨泵的结构
在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。以下几个单位是常用的:1巴(bar)=1000毫巴(mbar)=1。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。
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罗茨泵的真空技术
由于每个***、地区使用习惯不一样,我们需要进行单位换算。
首先,我们应该记住这几个基本概念:大气压是101325Pa,也就是1.01325E5Pa,在真空技术中,可以认为,大气压是100000Pa。同时,1巴(1bar)等于一个大气压,即:1bar=100000Pa。
以下几个单位是常用的:
1巴(bar)=1000毫巴(mbar)=1.0E5帕(Pa)=1大气压(atm)
1毫巴(mbar)=100帕(Pa)=1百帕(hPa)
1毫米柱 (1mmHg) =1托 (Torr)
1托(Torr)=133帕(Pa)
1千帕(kPa)=1000帕(Pa)
1兆帕(MPa)=1000000帕(Pa)
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罗茨泵的运行规则
1.安装后和起动前应作的准备:①应查清罗茨泵电机的转向必须与给定的箭头指示方向相同,不得反向;②检查各处油杯的油面是否符合规***置;③检查各接头、部件的密封性是否可靠;④接通各部冷却水。
2.真空机组的运行:①先开前级泵,使罗茨泵或被抽系统的真空度达到规定值(以油封式机械泵作前级泵时,应抽到5Torr以下,以水环泵作前级泵时,应抽到60~80Torr以下);②开动罗茨真空泵。
3.机组的停车:①关闭进气阀门;②停罗茨泵;③停前级泵;④前级泵放气,以免真空油或水等在真空下返回罗茨泵;⑤停止借水。
4.装有特殊部件的罗茨泵机组运行:由上可见,干式罗茨泵机组的操作是比较麻烦的,特别是罗茨泵本身,有时因操作不好会使反压过大而损坏。
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