SF6气体绝缘的变压器具有防火防爆的优点，这种配电变压器特别适用于人口稠密的地区和高层建筑的供电。SF6气体绝缘的超高压变压器已研制成功，全气体绝缘变电所将是变电技术发展的一个方向。[1] 性质编辑化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于。不与、液氨及盐酸起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与反应，-64℃时在液氨中反应。与混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。
直接电解法 将硫、、一氯化硫、或等加入到无水中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。
法 将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法 氯氟代***和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
