超声波清洗机的脱汽清洗的作用有两个，一方面是把液体的空气排出，增加液体的渗透力,是把超声波清洗机清洗槽里的液体的空气排掉，减少超声波空化反应产生的汽泡的阻力，增强超声波清洗机的清洗效率。
还有一方面则是为了提高超声波的功率，超声波清洗机工作时间久了会产生一种超声波疲劳，减低清洗效果和效率，排氧脱气功能还可以消除这种超声波疲劳，气泡会增加基线的噪音，造成灵敏度下降，甚至无法分析。
超声波清洗机拥有四大辅助系统，分别是过滤系统、输送系统、喷淋清洗系统和烘干系统。其中，过滤系统配备了过滤器，对清洗槽进行动态过滤，保持整洁的清洗槽。
烘干系统针对不同形状的工件进行清洗，体积，数量等，以确定传输模式超声波清洗机及其控制。典型的输送方式包括了悬挂链，网带，双链，电动葫芦，转盘，龙门架，机器人，挂篮，推板等。
也可以用滑动冲洗法验证，每周用HB铅笔涂玻片，3分钟内用超声波清洗干净。记录结果。该方法操作简单，但不能定量检测，误差较大。或者是用淀粉碘化钾反应方法超声波清洗机性能验证。
将淀粉处理成光敏乳剂，涂在载玻片上，置于含有稀释碘溶液的超声波容器中。在超声空化作用下，碘和淀粉发生反应变成蓝色，导致玻片变色。对玻片进行冲洗干燥，通过对玻片变域的观察，推断出声场的分布。该方法可以弥补铝箔腐蚀法中铝箔损伤的缺陷，但不能进行定量检测。
