脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供***的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,性价比高;
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脉冲激光沉积系统的特点有哪些?
? 超高真空不锈钢腔体
? 可集成热蒸发源或溅射源
? 可旋转的耐氧化基片加热台
? 流量计或针阀准确控制气体流量
? 标准真空计? 干泵与分子泵
? 可选配不锈钢快速进样室
? 可选配基片-靶材距离自动控制系统
? 是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备
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