无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须：
(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；
(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般超净间，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多，如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
无尘车间等速采样
在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。
每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s
所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K 值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是，如采用 28.3 L/min 的粒子计数器和 2.83 L/min 的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。3)无尘车间的单开门：800X2100mm，上做玻璃观察窗，装球型通道锁。
洁净室无尘车间 规范要求扫描速率为 5 ～ 20mm/s ( 其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用 28.3 L/min 的粒子计算器，扫描速率在 30 ～ 5mm/s 左右 )。
