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超精密加工机的需求急剧增加，在工业界的应用包括非球面光学镜片、Fresnel镜片、超精密模具、磁盘驱动器磁头、磁盘基板加工、半导体晶片切割等。在这一时期，超精密加工设备的相关技术，例如控制器、激光干涉仪、空气轴承精密主轴、空气轴承导轨、油承导轨、摩擦驱动进给轴也逐渐成熟。
精加工后技术要求：
1、精加工后的零件摆放时不得直接放在地面上，应采取必要的支撑、保护措施。
2、加工面不允许有锈蛀和影响性能、寿命或外观的磕碰、划伤等缺陷。
3、滚压精加工的表面，滚压后不得有脱皮现象。
4、终工序热处理后的零件，表面不应有氧化皮。经过精加工的配合面、齿面不应有退火。
零件在制造过程中，可能内部存在夹渣、空洞等原始缺陷，在使用过程中可能产生微观裂纹。这些缺陷不能直接从一般的观察和测量中发现，但它对机械可能产生严重的后果，因此，在机械检修中，必须有目的的对某些零件进行检查。
CNC精密加工机床的***
1、每天上班前半小时对机床进行清理、维护 若使用油枪清理切屑时，主轴上必须有刀。
2、禁止用油枪吹主轴锥孔，避免切屑等微小颗粒杂物被吹入主轴孔内，影响主轴清洁度。
精密机械零件的加工工艺规则一般包括：工件加工的工艺路线、各工序的具体内容、使用的设备和设备、工件的检验项目和方法、切削量、时间定额等。
