***及显影设备还包括主体***机10、基板输送机构50及传送装置40。主体***机10用于先对基板S的主体进行***。传送装置40用于将来自该主体***机10的基板S传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，因此，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘***装置20，即可去除绝大部分的残留光阻。
本实施方式中，边缘***装置20架设于基板输送机构50上，且包括边缘***机21、CXD影像处理器22及驱动装置23。边缘***机21与基板S的边缘对齐设置。CXD影像处理器22与边缘***机21连接，例如固定于边缘***机21的前端，用于撷取基板S和边缘***机的边缘的影像，并通过该影像测定基板S的偏移量。驱动装置23与边缘***机21和CXD影像处理器22连接，驱动装置23根据基板S的偏移量驱动边缘***机20移动，以补偿偏移量。该基板的偏移量是指基板S的边缘相对于边缘***机21的偏移量。
本实施方式中，边缘***装置20架设于基板输送机构50上，且包括边缘***机21、CXD影像处理器22及驱动装置23。边缘***机21与基板S的边缘对齐设置。CXD影像处理器22与边缘***机21连接，例如固定于边缘***机21的前端，用于撷取基板S和边缘***机的边缘的影像，并通过该影像测定基板S的偏移量。驱动装置23与边缘***机21和CXD影像处理器22连接，驱动装置23根据基板S的偏移量驱动边缘***机20移动，以补偿偏移量。该基板的偏移量是指基板S的边缘相对于边缘***机21的偏移量。
海水淡化的方法主要有两种：热法和膜法。热法包括多级闪蒸法（MSF）和多效蒸馏法（MED）。膜法包括反复渗透渗出（RO）和电渗析法/反复电渗析法（ED/EDR）。不锈钢因为具有耐侵蚀特性用在各种淡化方法的工程中。
所有的淡化方法都是同样的过程。引入的海水分为两部门，一部门作处理，另一部门浓缩。处理的海水盐浓度降低而浓缩的海水盐度远高于原海水。海水淡化过程所用设备材料需具有耐侵蚀的特性。材料的选择和设计原则取决于材料的服役环境。不锈钢因为其耐侵蚀和耐用性使其成为理想的材料。