轮廓仪助力半导体产业大发展
硅晶圆的粗糙度检测
在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。21um，校正倍率选±128um→将标准片放置在水平调整台上→执行校正测量条件的设定：单击“编辑”，选择“基本条件”，测量速度选0。
粗糙度轮廓仪测量知识
表面粗糙度影响零件的接触刚度。接触刚度是零件结合面在外力作用下，抵抗接触变形的能力。机器的刚度在很大程度上取决于各零件之间的接触刚度。
轮廓测量仪产品功能
1. 界面友好，的操作性；
2. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录.
轮廓仪具有精度高、使用方便、功能强等优点，能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量，并且具有强大的CNC功能，能进行一系列操作自动化，可率地进行测量作业。目前轮廓仪已在各大工厂广泛使用，作为一种精密测量仪器，正确使用才能保证测量精度和仪器寿命，下面给大家简单介绍一下如何正确使用轮廓仪。3D激光轮廓测量仪可以实现对各种光学膜的轮廓和粗糙度测量,对于有色镜的厚度测量、粗糙度以及感光性间隙材料的轮廓和高度测量,对各种薄膜（手机摄像头薄膜等）厚度和粗糙度测量，薄膜晶体管元件的图案高度和宽度测量。
合理不合理，我们打个比方。比如说自然数1、2、3、4、5、6、7、8、9，看起来很顺溜，我们用这个数列来发工资，给张三发1000，给李四发2000，两人皆心服。突然通货膨胀，给张三发8000，给李四发9000。以前李四工资是张三的2倍，现在变成1.12倍。你说李四能愿意吗？轮廓仪的选型轮廓仪的选型主要根据客户被测部位的X方向长度和Z方向的高度值来进行选择。他可是主管哪，给他发16000还差不多，张三是不会埋怨说主管比他多8000的。这个自然界的事物，有两种比较方法，就是“相对”与“绝1对”！优先数系是相对的。
