纯化水设备系统运行要注意哪些事项？
开机操作之前一定要检查所有安装是否正确，预处理设备是否冲洗干净，电控系统是否连接正确，打开进水阀、浓水阀、排空阀、高压泵上的排气阀，排除系统内的空气后关闭排空阀，开启高压泵，检查系统是否有渗漏现象，打开主要电源开关开机，如果使用的是全自动的系统会根据自身运行状况自动开关机，观察电控示意图，首先自动冲洗系统进行冲洗60秒或根据实际需要后对于1次使用的新机器要打开浓水阀低压冲洗约60分钟，然后可以逐渐升压，系统自动转入运行状态，检查所有泵以及管道的连接点以防漏水把所有漏水的地方修好，慢慢调节调压调节阀直到高压表上的读数值为1—1.0MPa，纯水流量将会随压力增加而增加，一般按设备产水量调节纯水流量严禁将浓水阀门关闭运行，观察电导仪上指数值符合要求后，方可引进纯水箱记录每天的进水浓水压力值和浓水，纯水流量值及电导仪指数值以便以后的分析，如果系统使用的是超低压膜调节压力应为1—1.0MPa，一般高压调节阀1次启用时调节好后可维持一段时间不变。超纯水技术在半导体行业的应用反渗透部分在半导体行业中，反渗透部分多采用双级反渗透工艺，以确保后续工艺的安全性。
超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般gt;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
反渗透部分在半导体行业中，反渗透部分多采用双级反渗透工艺，以确保后续工艺的安全性。通过双级反渗透，可去除水中超过99%的悬浮物、胶体，98%以上的溶解盐，大部分的微生物、TOC和部分CO2。反洗工艺简介反渗透设备因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差，造成横轴断裂等设备故障，并且膜的种类不同对进水水质要求也有所不同。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺，同时将双级反渗透拆分成两个***的部分，这样就更加有效地保证了系统的连续运行，即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时，也不会造成整个工厂大而积的停水，确保了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加SBS,MDC加药装置，保证了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置，可提高二级反渗透系统的脱盐率。
