用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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氦质谱检漏法的应用领域
氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性，使其广泛应用。主要领域和产品如下：
原子能工业——气体扩散处理系统、容器；
高能物理研究院——及其配件；
电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；
电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；
航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；
仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；
空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；
真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；
冶金——真空电炉；
低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；
轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。
这些部门的产品要求一定的密封性，其中，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。
安徽诺益科技有限公司是一家***从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱、回收系统和差压气密性检漏仪的研发、生产及销售为一体的***型高科技创新型企业。公司自成立以来，以“积极乐观、勇于担当、不轻然诺，精益求精”的企业精神，一步一个脚印发展成为中国同类企业中经营范围广、在行业内颇具影响力的企业。
氦质谱检漏仪灯丝脆断故障
检漏技术在我国经济中占有非常重要的地位，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。
氦质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，速度快、适用范围广，探索气体***性、无***性、质量轻等优点，是诸多检漏法中有效的方法。
氦质谱检漏仪在使用过程中，常见的故障就是灯丝脆断，氦质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆，再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹，这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶，减少了堆垛层位错能量，降低位错移动的晶界阻抗，从而使位错迁移率增加，促使了钨的固溶软化，此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了氦质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险，铼浓度高时的塑化效应降低。
钨铼丝具有高熔点，高强度、高硬度、高塑性、高的再结晶温度、高电阻率、低蒸汽压、低电子逸出功和低的塑性脆性转变温度等优点。但钨铼丝制作的灯丝极易氧化，在真空、惰性气体中可以保持很长的使用寿命，但在氧化性气氛中容易被碳化，降低其灵敏性并引发脆断，在有氢气存在的情况下，会加速碳化。
检漏仪的***注意事项
1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间***油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。
6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。
