对于表面光洁度较高的零件以及具有较小直径的孔类零件，宜采用波长较短、能量较集中的高频超声波清洗。超声波清洗机的高l效率和高清洁度，得益于其声波在介质中传播时产生的穿透性和空化冲击波。但高频的超声振动在清洗液中衰减较大、作用距离较短、空化强度较弱，因而清洗效率也较低。此外，还由于高频超声波的方向性所产生的“阴影”，会造成被清洗件的某些部位清洗不到的现象。
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超声波功率密度
超声波清洗中，清洗效果是随着超声波功率密度增加而提高的。但过高的功率密度会由于空化作用过份强烈而引起被清洗件表面的浸蚀(即所谓空化腐蚀)，从而使被清洗件表面受到损伤。在热的溶剂蒸汽和超声激荡共同用下，油、脂、蜡以及其他溶于溶剂的污垢就被除去。这种现象尤其对工件上的各种镀层以及铝合金件更为突出。为此，对于油污程度严重、形状复杂、有深孔和盲孔的被清洗件，以及在清洗槽较深、清洗液粘度较大时，可选用较大的功率密度。高频超声波清洗时，功率密度也可以选大一些，以抵消其衰减大、作用距离短的弱点。若在粘度较小的清洗液中进行漂洗时，则超声波功率密度可以选小一些。
超声波清洗
对于外形尺寸较大的大型零件，可采用局部清洗方式。即将被清洗件部分浸入清洗液中进行清洗，待清洗完毕后再将尚未清洗的部位浸入清洗液中继续清洗，依次直至完全洗遍。
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超声波清洗原理
超声波主要具有机械效应(如传声媒质的质点振动位移、速度、加速度、声压等力学量）、热效应(声波在传播过程中其部分能量被媒质吸收变成热能）和空腔效应。维修方法是把换能器整体（不包括喷塑外壳）放进烘箱设定100℃左右，烘干三小时或者使用电吹风去潮至阻值正常为止。其中空腔效应是声化学的应用理论基础，也为重要。空腔效应由成核、微泡生长、空腔塌陷三步组成。在反应体系中，液体内存在张力弱区，即液体内溶有气体或在尘埃的液固界面上存在气体