




柜台式飞行打标机的发展非常迅速,瓦级功率以上高重频全固态激光器不断应用于加工,国内外研究机构和公司不断向更高功率(数十瓦级)、更高重频(几十甚至几百 kHz)方向发展。目前我们已经研制成功了 5W 、50kHz 的紫外 355nm 激光器,脉宽 25ns。已经做成样机,性能稳定,用于 LED 蓝宝石晶圆裂片划线,划线深度达到 200μm,线宽小于 10μm,划痕光滑均匀,几乎无热影响区。

柜台式飞行打标机技术:通过率端面泵浦结构方式得到基模红外 1064nm 激光,再经过多级放大结构,得到高功率的红外高光束质量基频光,再通过率变频技术,后得到 5W、50kHz、25ns 脉冲紫外 355nm 激光。光束质量因子 M2lt;1.3,功率长期稳定性lt;±2%。内部光学结构采用紫外胶光固化粘接,结构小巧牢靠,对环境适应程度高。通过紫外显微物镜的聚焦,聚焦光斑直径在μm 级别,加工尺寸小于 10μm。通过紫外激光器的开发,相应的也取得了更高功率的红外和绿光高光束质量激光技术。
近年来随着激光技术的快速发展,激光技术在不同领域的应用得到逐步扩大,广泛应用于现在加工的众多方面,独特的加工方式不仅解决了现在加工的众多难题,同时也为现在加工提出了更多的可能。现在激光技术的应用层出不穷,各种新型应用不断呈现,快速发展的激光技术,正在逐步渗透到现在加工制造众多方面。在现在的精密加工领域,柜台式飞行打标机的应用也是日益广泛,紫外激光加工过程称为“光蚀”效应,“冷加工”具有很高负荷能量的光子,能够打断材料或周围介质内的化学键,至使材料发生非热过程***。

