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双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。
在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。这些标准的测量程序易于插入工件加工程序中，并可用标准机床代码对数控机床测头自动调用。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。
三坐标测量机控制柜在收到这些点后（只得是红宝石球中心坐标X、Y、Z 值），进行标准球的拟合计算，得出拟合标准球的球心坐标值、标准球直径和形状误差。它由一安装在可伸缩的纤维杆内的高精度位移传感器构成，该传感器包括两个线圈和一个可移动的内杆，其工作原理类同于使用LVDT技术的位移传感器。将拟合球的直径减去标准球的实际直径，就得出校准后测针宝石球‘直径’校准球是一个已知直径的标准球，校准测针的过程实际上就是对这个已知直径的标准球测量直径的过程，该球的测量值等于标准球的直径加测针的直径，这样就可以确定测针的直径（确切的讲应该是测针校正值）.
更换测针（不同的三坐标测量机测量软件方法不同），因为测针长度是测头自动校验的重要参数，如果出现错误，会造成测针的非正常碰撞，轻者碰坏测针，重则造成测头（传感器）损坏。
正确输入标准球的实际直径。从以上所叙的校验测针的原理中可知，标准球直径值直接影响测针宝石球直径的校验值，虽然这是一个小概率事件，但是对初学者来说，这也有可能发生的。
