氦质谱检漏仪
设备是产生、改善并维持真空的装置，包括真空应用设备及真空获得设备。真空系统设备的真空系统是核心，主要由真空获得、真空测量、真空腔体（或容器）以及控制辅助等部件（如真空阀门、管道等）。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效
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氦质谱检漏仪
故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。***用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高。
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氦质谱检漏仪逆扩散原理
电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率
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