高纯气体(Purified Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；化肥、氨、硝酸等化合物的制造，隋性保得介质，速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂，电子工业中的处延、扩散、化学气相淀积、离子干刻、光刻等，还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体
定量与误差
每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。我们认为在保证上述条件和满足本底要求条件下，仪器的定量误差主要取决于标准气的准确度（可靠性）。对于痕量成分重复测量的相对误差往往比常量分析大的多。对0.1—10ppm浓度的检测重复性（相对误差），在10—20%的相对误差也是较好的；PPT级的杂质气，可以允许有一个数量级之差。在定量方法上都采用了“外标法”，即使用标准气校正。在实验室可以做到用多种配制标准气方法较正，能得到较高的可靠性。9、氢气系统设备运行时，严禁敲击、带压紧固和维修，不得超压，禁止处于负压状态。而在实际使用中难度很大，因此***在标准气的配制上要求是很严格的。
气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医l药等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。
高纯度气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点（POU），为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并注明管道材质。此外，随着高质量的自然资源的消耗，近几年铁矿石和煤的质量已经恶化，将来为现在的巨型高炉提供所必须的高质量的负载材料变得很困难。
